日前，一项由淄博力气主导的集体规范《光刻机用氧化铝陶瓷导轨》（T/SDTC 010-2025）正式对外发布，这不只填补了国内空白，更标志着我国在高端光刻机核心部件范畴完成了从技能到规范的两层重大打破。
据介绍，光刻机被誉为“芯片之母”，其内部陶瓷导轨虽细小，却可谓精细设备的“骨骼”——其精度与稳定性直接决议了高端配备制作的“高度”。曩昔，这类核心部件长时间被国外企业独占，成为“卡脖子”的技能壁垒。
为打破这一困局，我市企业山东硅元新型资料股份有限公司依托深沉的工业陶瓷技能堆集，自2014年起联合产学研力气悉心攻关。从资料配方到精细成型工艺逐个打破，终究成功开宣布功能比肩世界的氧化铝陶瓷导轨系列新产品，为国产高端光刻机装上了自研“关节”。
技能打破后，企业又再接再励牵头拟定集体规范，将十年汗水凝结为《光刻机用氧化铝陶瓷导轨》这一技能标尺。规范严厉规范了产品技能指标与出产规范要求，为国产代替供给了明晰牢靠的技能是根据，让核心技能真实落地生根，转化为工业竞争力。此项规范的施行，将显着提高我国光刻机与芯片制作工业链的整体实力。
该规范发布是全市持续施行集体规范培优方案的重大效果，而集体规范是立异效果工业化的重要桥梁。我市商场监督管理部门长时间致力于培养高水平集体规范，未来将持续深化推进“培优方案”，让“淄博规范”为工业高水平质量的开展供给坚实支撑。（记者 赵晓雯）
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